真空微波烘干設備的原理微波能量為電磁波，頻率高于一般電波頻率。由于它具有波粒二象性，也就是粒子性和波動性兩種特征，人們將其稱為“微波”。
微波烘干設備的原理是利用電磁場在物體內部產生熱效應。微波輻射強度達到一定值時，物體分子會發生摩擦發熱現象，物體溫度上升。
這種加熱方式稱為干式加熱或非接觸加熱：另一方面，利用高頻電場使水分子產生的熱被傳導供水的性質稱為接觸式加熱或傳導型電加熱，材料在干燥室通過熱風循環系統進行氣、液、固三相流導過程。
在此過程中，水分和溶劑蒸汽的壓力差使其從物料表面蒸發脫離，達到干燥的目的。材料在真空狀態下與外部空氣直接接觸，吸收空氣中的水分和濕氣而迅速蒸發的水蒸氣與氣流一起進入冷凝系統冷凝，成為液體滴落到容器內。 在整個干燥過程中不添加輔助燃料等，可以較快的對產品進行干燥處理。
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